QMEMS將擠壓石英晶振和硅MEMS的空間:線上賭場規則
線上賭場規則描述::MEMS振蕩器采用集成電路工藝制造出機械振動器件,這樣可以被集成在硅芯片中。傳統的石英晶體需要切割和傾斜(beveling)加工,但體積可以做的更小,溫度漂移的適應性好,采用印刷技術的成本和功耗可以更低。
聲稱已經占據23%晶振市場份額日本愛普生拓優科夢(Epson Toyocom)公司宣布他們采用類似半導體光刻工藝制造一種石英MEMS(QMEMS),并保持在硅MEMS振蕩器市場的前列地位。
QMEMS的規格說明書顯示出與競爭的MEMS振蕩器(SiTime、Discera、Silicon Clock和Mobius微系統等公司的產品)相比性能差不多或更好。
“傳統來說MEMS需要硅工藝,所以他們叫我們的產品QMEMS,因為我們采用石英,而不是硅,”愛普生拓優科夢的Debbie Word表示,“我們用石英晶圓在類似半導體廠的工廠里面生產,采用光照、蝕刻、鍍膜和犧牲層去除的方法 - 與硅MEMS芯片的工藝差不多,但我們使用的是石英材料。”
壓電石英晶體已經成為標準,一旦在其中通過一個小電流,就可以產生設定頻率的振蕩。該振蕩頻率不受封裝內的溫度改變的影響。石英是地球上資源豐富的壓電材料,通過精密的切割和傾斜,可以讓石英振蕩器得到需要的頻率。
幾年前,愛普生采用光刻工藝生產了厚度在2毫米下的音叉共鳴器,這個是傳統的切割和傾斜工藝不能達到的。這個工藝用在了QMEMS振蕩器上,從而在規格上可以與硅MEMS振蕩器競爭。
市場分析報告顯示對于OEM來說不會有什么改變。“MEMS是可行的另一種非傳統的方案,因為可以在更低的價格提供增加的功能,”MEMS分析師Roger Grace表示,“工程師在尋找最好的可能的方案,如果QMEMS定時器芯片可以在最低的價格提供他們需要的功能,那該產品就會取得成功,不論采用何種生產工藝。”
愛普生拓優科夢還計劃采用QMEMS的工藝生產大氣壓力傳感器,并且已經采用該工藝生產了超小(2* 2mm)陀螺儀,用于數碼相機的圖像穩定防抖。